临界点干燥是干燥SEM精密样品的一种有效方法。它保留了样品的表面结构，因为从液体变成气态时，表面会由于表面张力受到损坏。Leica EM CPD300临界点干燥仪可以在一个完全自动化的控制过程中干燥生物标本，如花粉、组织、植物、昆虫、以及工业样品，如微电子机械系统（MEMS）和微流体和凝胶，从而获得同样高质量的样本。
