Leica EM ACE600 是一款高真空镀膜仪，真空泵采用隔膜泵和涡轮分子泵，无油真空系统，真空度可达2×10-6mbar, 镀膜细腻均匀;内置石英膜厚检测器，可精确控制镀膜厚度;全自动电脑控制，自动完成抽真空，镀膜，放气等全过程，一键操作;采用触摸屏控制，简单方便;仪器可选离子溅射镀金属膜，满足高分辨场发射扫描电镜（FE-SEM）需求;可选碳丝蒸发镀碳膜，用于X-射线能谱及波谱分析，或者TEM铜网镀碳膜;还可以选择电子束蒸发方式镀膜，获得极其细腻的金属膜与碳膜，可用于DNA投影等特殊用途。
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型号 |
Leica EM ACE600 |
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真空度 |
≤2×10-6 mbar |
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溅射电流 |
0-150mA可调 |
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样品仓尺寸 |
200mm（宽）×150mm（深）×195mm（高） |
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样品台 |
内置旋转 |
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工作距离 |
30mm-100mm |
