设备名称：Aquilos
型号：FEI Aquilos Cryo-FIB
管理员：许淑嫚
联系方式：0755-88011660
邮箱：xusm@mail.sustech.edu.cn
Aquilos Cryo-FIB 是首款专门用于制备生物材料Tomography样品的设备。Aquilos制备的Tomography样品，厚度约为200nm，转移至cryo-TEM中进行高分辨率冷冻电子断层成像，而后进行样品结构的三维重构。Aquilos的低温配件可以极大程度降低样品污染、损坏和相关精度损失，同时，Aqulios配备了原位的Sputter coating和Gas Injection Systerm，极大的提高了样品制备的成功率。
|
型号:FEI Aquilos Cryo-FIB |
|||
|
离子束系统 |
电子束系统 |
||
|
离子源 |
液态Ga离子源 |
电子源 |
Schotty X-FEG场发射电子枪 |
|
加速电压 |
0.5-30kV |
加速电压 |
0.2-30kV |
|
束流强度 |
1.5pA-65nA |
束流强度 |
0.78pA-400nA |
|
分辨率 |
7nm@30kV |
分辨率 |
6nm@2kV, 1.6nm@30kV |
|
探测器 |
ETD（SE、BSE） ICE（SE、BSE、SI） |
探测器 |
ETD（SE、BSE） TLD（SE、BSE） T1、T2(BSE, in-lens) |
|
冷冻样品台：五轴马达驱动（XY：110mm，压电陶瓷马达驱动；Z：65mm，电机马达驱动；倾角范围(-15°)-(+55°);可绕Z轴旋转任意角度（360°）；水平方向漂移<10nm。降温时间(<-170°C) <30min。 |
|||
|
样品要求：直径≦110mm，厚度≦50mm |
|||
|
配备Pt气体沉积源，可在电子束、离子束诱导下进行沉积和刻蚀 |
|||
|
原位 Sputting coating: Pt |
|||
|
软件：xTUI、Maps |
|||
